اصل مقاله (1.46 MB)

عنوان دوره: بیست و نهمین کنفرانس ملی هسته‌ای ایران

سید منصور طباطبائی*؛ علیرضا حفظ الصحه؛ جمال الدین یزدان پناه؛ سید امیر حسین قرشی؛ مجید الهی

گروه فناوری گداخت هسته‌ای، پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته‌ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران

در این مقاله مراحل طراحی و ساخت دستگاه مولد پلاسمای جفت‌شده القایی ICP-13.56 با بسامد کاری 13.56MHz و بیشینه توان 2kWکه دارای مشعل‌های تحت خلأ و فشار اتمسفری است، به صورت اجمالی بیان می‌شود. هر مشعل این دستگاه به طور مجزا می‌تواند بستر مناسب پژوهشی در زمینه‌های کاربردی مربوطه را فراهم نماید. سپس در ادامه برخی از نتایج آزمایشات این دستگاه که شامل اندازه‌گیری دمای پلاسما و منحنی بار در شرایط خلأ است مورد بحث قرار می‌گیرند. بر اساس طیف‌های اندازه‏گیری شده به روش ترسیم بولتزمان، دمای الکترونی پلاسما برای گاز آرگون در فشار 4mbar و توان RF مصرفی 400W ، به مقدار بیشینه ( 13299K - 1/146eV) و متوسط 2053K می‌رسد.
(در این مقاله مراحل طراحی و ساخت دستگاه مولد پلاسمای جفت‌شده القایی ICP-13.56 با بسامد کاری 13.56MHz و بیشینه توان 2kWکه دارای مشعل‌های تحت خلأ و فشار اتمسفری است، به صورت اجمالی بیان می‌شود. هر مشعل این دستگاه به طور مجزا می‌تواند بستر مناسب پژوهشی در زمینه‌های کاربردی مربوطه را فراهم نماید. سپس در ادامه برخی از نتایج آزمایشات این دستگاه که شامل اندازه‌گیری دمای پلاسما و منحنی بار در شرایط خلأ است مورد بحث قرار می‌گیرند. بر اساس طیف‌های اندازه‏گیری شده به روش ترسیم بولتزمان، دمای الکترونی پلاسما برای گاز آرگون در فشار 4mbar و توان RF مصرفی 400W ، به مقدار بیشینه ( 13299K - 1/146eV) و متوسط 2053K می‌رسد.)

مشعل پلاسمای جفت‌شده القائی (ICP)؛ طیف‌سنجی؛ دمای پلاسما

پلاسما و گداخت هسته‌ای