طراحی و ساخت مولد پلاسمای جفت شده القائی ICP شامل مشعل های تحت خلأ و فشار اتمسفری
عنوان دوره: بیست و نهمین کنفرانس ملی هستهای ایران
نویسندگان
گروه فناوری گداخت هستهای، پژوهشکده پلاسما و گداخت هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، تهران، ایران
چکیده
در این مقاله مراحل طراحی و ساخت دستگاه مولد پلاسمای جفتشده القایی ICP-13.56 با بسامد کاری 13.56MHz و بیشینه توان 2kWکه دارای مشعلهای تحت خلأ و فشار اتمسفری است، به صورت اجمالی بیان میشود. هر مشعل این دستگاه به طور مجزا میتواند بستر مناسب پژوهشی در زمینههای کاربردی مربوطه را فراهم نماید. سپس در ادامه برخی از نتایج آزمایشات این دستگاه که شامل اندازهگیری دمای پلاسما و منحنی بار در شرایط خلأ است مورد بحث قرار میگیرند. بر اساس طیفهای اندازهگیری شده به روش ترسیم بولتزمان، دمای الکترونی پلاسما برای گاز آرگون در فشار 4mbar و توان RF مصرفی 400W ، به مقدار بیشینه ( 13299K - 1/146eV) و متوسط 2053K میرسد.
(در این مقاله مراحل طراحی و ساخت دستگاه مولد پلاسمای جفتشده القایی ICP-13.56 با بسامد کاری 13.56MHz و بیشینه توان 2kWکه دارای مشعلهای تحت خلأ و فشار اتمسفری است، به صورت اجمالی بیان میشود. هر مشعل این دستگاه به طور مجزا میتواند بستر مناسب پژوهشی در زمینههای کاربردی مربوطه را فراهم نماید. سپس در ادامه برخی از نتایج آزمایشات این دستگاه که شامل اندازهگیری دمای پلاسما و منحنی بار در شرایط خلأ است مورد بحث قرار میگیرند. بر اساس طیفهای اندازهگیری شده به روش ترسیم بولتزمان، دمای الکترونی پلاسما برای گاز آرگون در فشار 4mbar و توان RF مصرفی 400W ، به مقدار بیشینه ( 13299K - 1/146eV) و متوسط 2053K میرسد.)
(در این مقاله مراحل طراحی و ساخت دستگاه مولد پلاسمای جفتشده القایی ICP-13.56 با بسامد کاری 13.56MHz و بیشینه توان 2kWکه دارای مشعلهای تحت خلأ و فشار اتمسفری است، به صورت اجمالی بیان میشود. هر مشعل این دستگاه به طور مجزا میتواند بستر مناسب پژوهشی در زمینههای کاربردی مربوطه را فراهم نماید. سپس در ادامه برخی از نتایج آزمایشات این دستگاه که شامل اندازهگیری دمای پلاسما و منحنی بار در شرایط خلأ است مورد بحث قرار میگیرند. بر اساس طیفهای اندازهگیری شده به روش ترسیم بولتزمان، دمای الکترونی پلاسما برای گاز آرگون در فشار 4mbar و توان RF مصرفی 400W ، به مقدار بیشینه ( 13299K - 1/146eV) و متوسط 2053K میرسد.)
کلیدواژه ها
موضوعات